測量顯微鏡的分類簡介
光學測量顯微鏡
采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。主要運用于錄像磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測試。廣泛地適用于計量室、生產作業(yè)線及科學研究等部門。
主要優(yōu)點:工作臺除作X、Y坐標的移動外,還可以作360度的旋轉,是一種理想的固定場所小型精密測量儀器。
一種將將顯微鏡看到的實物圖像通過數模轉換,使其成像在顯微鏡自帶的屏幕上或計算機上的顯微鏡設備。特別適用于制造業(yè)、精密零件以及不方便
移動的物件的觀察測量。廣泛地適用于生產作業(yè)線及科學研究等部門。
主要優(yōu)點:小巧便攜,只需一臺計算機就可以直觀的觀測微觀放大圖像,進行精確數據測量、拍照備份圖片及數據資料;還可以根據客戶需要定制特種光源(熒光、紅外)用于特殊場所觀測。數碼測量顯微鏡幾年來得到廣泛的普及使用,已成為一種可靠實用的精密測量儀器。
以裂像聚焦指示器為測量原理, 采用高精度光學聚焦點檢測方式進行非接觸高低差測量。不僅可以對準目標影像, 還能觀察測量點的表面狀態(tài),對高度,深度,高低差等進行測量。本儀器的各種鏡筒還具有明暗場,微分干涉,金相,偏光等多種觀察功能。所以對極細微的間隙高低差,夾雜物、微米以下的突起、細微劃痕、以及金相組織進行觀察